项目名称：Parylene PDS2010真空沉积系统

项目编号：西交材招（2024）030

项目联系人：吴老师

项目联系电话：15927563695

采购单位联系方式：

采购单位：西安交通大学材料学院

采购联系人：黄小燕 邮箱：huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn

联系地址：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼A223室

一、采购项目基本概况介绍：

根据工作需要，计划采购1台Parylene真空沉积系统。该系统主要用于真空沉积Parylene（派瑞林）作为柔型器件的基底和光电器件的封装层。可用于聚对二甲苯（C,N,F）的真空气相沉积，适用于超轻超柔有机太阳能电池和柔性有机电化学晶体管等光电器件制备，且结构紧凑，适合于实验室使用。

该系统的主要组成和参数为：

（一）过程控制系统：

1、PC Windows操作系统，触摸屏操作界面；

2、采用设定沉积压力的方式自动控制蒸发温度和沉积过程，保证沉积过程中压力的稳定性，压力稳定性±1mT。

3、独立可设置的蒸发室温度，室温~180℃，调整增量为1℃；

4、独立可设置的裂解室温度，室温~720℃，调整增量为1℃；

5、独立可设置的沉积室压力，本底~100mT，调整增量为1 mT；

6、沉积结束后设备报警并自动关闭所有加热部件；

7、可设定所有参数的带宽和报警值；

8、沉积报告及历史数据导出；

9、单次沉积膜厚0.1~75微米；

（二）蒸发室：

1、不锈钢蒸发室及料门，料门配有耐高温密封圈及锁定装置；

2、蒸发室及料门同步加热，以保证蒸发室内温度分布均匀；

3、蒸发室装载原料容量不小于125g

裂解室：

4、采用耐高温不锈钢材料裂解管，坚固耐用，清理方便，无需更换；

5、 双加热瓦包裹式加热，良好的隔热效果；

（三）沉积腔：

1、采用可变换沉积腔结构，可安装不同类型和容量的沉积腔；

2、采用全不锈钢圆筒结构，电抛光处理，带玻璃观察窗及把手；

3、不小于Φ300x300mm高，可处理8寸硅片，为可移除式沉积腔应用灵活方便清理；

4、带有旋转料盘、工料架及均匀气流分布的导流管；

5、真空传感器拆卸维护方便，并带加热套，防止Parylene在传感器上沉积；

6、沉积腔空载真空度（冷阱-75℃以下）：优于0.5Pa；

（四）真空系统：

1、配置高品质机械旋片真空泵；

2、抽真空时间：真空低于10mT小于30分钟（冷机开启的情况下）；

（五）冷阱：

1、冷阱为不锈钢结构，采用独立的机械冷机制冷，冷凝器探头可方便取出清洁；

2、配备机械冷凝系统，最低冷凝温度低于-90℃（25℃环境下）；

安全：

3、设备所有加热部件均带有热保险，在控制系统出现故障时可切断加热器，防止部件损害和火灾；

4、设备的高温、低温部位要有相应的安全警示标志；

（六）其它：

1、电源：220V/50Hz, 单相，工作电流小于15A（含冷机）；

2、总占地面积：<1m2；有脚轮易于移动；

3、设备有排气管道；

二、对供应商资格要求（供应商资格条件）：

 （一） 供应商的资格要求：
  1、符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
  2、具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
  3、供应商应为所提供产品的生产企业，或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
  4、供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
  5、本项目不接受联合体投标。
  6、其他要求：本项目特殊要求在技术规格指标中列明

 （二）供应商报名方式：
　　符合本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后，彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

三、采购文件的发售时间及地点等：

磋商时间：2024年11月22日

地点：西安交通大学兴庆校区材料学院

获取磋商文件时间: 2024年11月15日-11月21日18点

获取磋商文件方式：报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间：2024年11月22日

响应文件递交地址：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼

响应文件开启时间：2024年11月22日

响应文件开启地点：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼